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半导体设备根据功能分区,其零部件通常可分为:光学系统、机械类、电气类、机电一体类、气体输送系统、真空系统、附属设备、仪器仪表、气动系统类、二次配设施、工艺材料类。
半导体设备零部件因种类繁多且工艺差别较大,行业相对分散,其高壁垒主要体现为:技术壁垒、认证壁垒和原材料壁垒。
二、中国市场:国产化率低,核心零部件卡脖子风险高
由于行业技术壁垒高,且国产厂商起步晚,目前半导体零部件行业内各细分产品主要份额被美国、日本、欧洲、韩国和中国台湾少数企业所垄断,国产化率较低。
需求角度看,国内零部件采购中,石英件、RF射频发生器、泵、阀门、静电卡盘、喷淋头、边缘环的需求占比较大,分别为11%、10%、10%、9%、9%、8%、6%。
国产化角度看,石英、喷淋头、边缘环国产厂商已经可以覆盖10%以上的市场;射频发生器、MFC、机械臂的国产化率在1%-5%之间;而阀门、静电卡盘、测量仪表、O-ring的国产化率不足1%。
三、设备厂视角看零部件需求
成本视角:国内设备厂商材料费占营收比例约为60%;全球材料费占营收比重预计在40%左右。我们由此测算出:年全球半导体设备零部件需求将增长至亿美元量级;国产半导体设备厂商的采购需求将近亿元。
采购视角:多家国产设备厂商年采购总额为材料成本的2倍之多,设备厂在手订单充沛,超前采购趋势显著。采购结构上,气体输送系统、机械类、电气类、机电一体类采购比例高。
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